始搓芯片。
籽晶插入1420c的熔液中,使硅原子在籽晶上有序生长依附,巨大的设备以缓慢的速度向上提拉,脱离熔液的部分自动冷却形成晶棒越拉越长,最后拿去切割打磨。
在研究院部分云贵地区工程师的带动下,这个过程被冠以了一个有趣又形象的描述:
撇条。
其他人在知道其真正含义的时候,已经改不过来了因为实在太形象了
实际上在他们重新开炉的过程中,早先制备的合格硅片已经被拿去光刻室进行光刻了,但他们作为试生产的重要源头,依旧需要持续不断运转半个月,来验证整个系统的可靠性。
一个身穿无尘服工程师爬上直拉炉侧面的梯子,从小窗肉眼观察着“撇条”的状态。
“没问题很通畅,我们去下一处。”
“都打起精神来,虽然不影响其他部门,但这次我们可是要挑战分项良品率99!”
≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;光刻车间≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;
合格的硅片被运送了过来,翟达点点头:“顺利么?”
试生产测试可不光是设备运转,一路东西怎来、怎么走,都是测试项目内。
“翟总放心吧,之前物流运转13项注意,全都打了勾了。”
全厂唯一的独苗,“极光01”已经等候多时了。
硅片被戴着手套的工程师,小心翼翼的从边缘拿起,类似于双手与硅片垂直“夹”着。
清洗和脱水烘焙已经在来之前完成,此时批量放入备用槽后,需要人用“手”参与的工序已经完全结束。
是的,就是这么自动化。
反射着奇特光泽的硅片先需要进行“六甲基二硅氮烷”蒸汽涂底,增加光刻胶附着力,这一步是在真空仓内进行。
紧接着被自动转移到光刻基座,旋涂机在表面均匀涂抹光刻胶。
涂抹后再度加热,使液态光刻胶具有一定机械稳定性,类似于烘干胶水。
最后有着复杂电路图形的掩膜板与硅片对齐,光学系统射出极紫外光。
被掩膜板保护的部分完好、裸露的部分则被曝光改变物理性质,这就是“光刻”最直白的原理。
无非就是精度以纳米计罢了。
短短几分钟,“极光01”就轻描淡写的完成了工作。
翟达看了一眼操作台上的数据反馈,点点头道:“继续,不要停。”
纠结没意义,又不是肉眼能看出来问题的
后面工序会告诉他们答案的。
≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;光刻·后道工序车间≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;
“来了,该轮到我们了,新鲜出炉的晶圆啊,瞧一瞧看一看啊!还热着呢!”
“别耍宝了,赶紧的!我的刻蚀机已经饥渴难耐了!”
光刻过后,硅片上的物理结构其实并未变化,因为极紫外线不能让物质灰飞烟灭,只是改变了曝光部分的物理性质。
接下来就是利用其他设备,将被改变性质的部分去除,固化表面结构纹路。
很繁琐。
烘一下、显影、再烘一下、用刻蚀机消除曝光的材料层、洗一下、再烘一下、注入掺杂离子、再烘一下
整个过程都在不断烘干,烘完a面烘完烘b面被大家戏称为“摊煎饼”。
如果是刻石头,大概就是吹一下浮灰,线条就自动露出来了,但在这里,要精细的多,每一步都需要特殊的化学物质和物理条件,最后注入掺杂离子、覆膜。
≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;封装测试车间≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;≈gt;
距离开端已经过去三个小时,封装测试车间终于等来了自己的“原料”。
当然这三个小时他们也没闲着,各种准备工作没停过。
“封装/测试”,是整个产业链中需要“人力”最多的环节,一般情况下和所有前置工序总人数比例是1:1。(不算芯片设计)
即:若之前全部加起来需要1万岗位,那么“封装/测试”也需要1万岗位。
试生产投入的800人里,一半都在这里。
“晶圆来了,按之前规划,分成四道生产线同步进行。”
“来来来,之前测试都是别家的晶圆,让我看看咱研究院自己的芯片怎么个事儿!”
晶圆在这里,将会先进行探针测试,通过电信号的反馈,标记出其上缺陷的区域。
毕竟是纳米级的雕刻,总有不尽
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